JB/T 5630-1991 半导体器件扩散炉 能耗分等
作者:标准资料网
时间:2024-05-05 12:40:25
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基本信息
标准名称: | 半导体器件扩散炉 能耗分等 |
中标分类: | 机械 >> 机械综合 >> 技术管理 |
发布部门: | 机械电子工业部 |
发布日期: | 1991-09-13 |
实施日期: | 1992-07-01 |
首发日期: | 1900-01-01 |
作废日期: | 1900-01-01 |
提出单位: | 机械电子工业部生产司 |
归口单位: | 机械电子工业部机械标准化研究所 |
起草单位: | 国营七○○厂 |
起草人: | 钱祖权、黄淑敏 |
出版社: | 机械工业出版社 |
出版日期: | 1992-07-01 |
页数: | 4 页 |
适用范围
本标准规定了半导体器件扩散炉(以下简称扩散炉)能耗分等。
本标准适用于电子工业企业半导体器件制造过程中用作各种扩散、氧化、退火和合金工艺以及对其他材料进行特殊处理的扩散炉。
前言
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所属分类: 机械 机械综合 技术管理
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